Springen naar inhoud

Etsen van Platinum-Iridium


  • Log in om te kunnen reageren

#1

Annik

    Annik


  • 0 - 25 berichten
  • 7 berichten
  • Ervaren gebruiker

Geplaatst op 13 december 2005 - 11:55

Ik ben op zoek naar een methode om gecontroleerd enkele micrometers Pt-Ir folie weg te etsen. Heeft ieman hier een chemische samenstelling voor?

Groetjes,

Annik

Dit forum kan gratis blijven vanwege banners als deze. Door te registeren zal de onderstaande banner overigens verdwijnen.

#2

*_gast_Gerard_*

  • Gast

Geplaatst op 13 december 2005 - 12:10

Pt-Ir folie



Betekent dit dat je in een folie gaten wil etsen om de onderlaag zichtbaar te maken, dan is het van belang welke materialen hiervoor gebruikt zijn.
Je hebt een agressief reagens nodig en ik denk dat het niet de bedoeling dat de ondergrond eerder oplost.

Gerard

#3

joepiedepoepie

    joepiedepoepie


  • >250 berichten
  • 311 berichten
  • Ervaren gebruiker

Geplaatst op 13 december 2005 - 13:06

Gewoon Googelen. Dat moet lukken.

#4

woelen

    woelen


  • >1k berichten
  • 3145 berichten
  • Ervaren gebruiker

Geplaatst op 14 december 2005 - 21:51

Ik ben op zoek naar een methode om gecontroleerd enkele micrometers Pt-Ir folie weg te etsen. Heeft ieman hier een chemische samenstelling voor?

Groetjes,

Annik

Dit zal nog niet meevallen. Zelf zoek ik naar een methode om iridium metaal op te lossen, zonder dat ik gesmolten alkalien met een oxidator moet gebruiken.

Misschien zou het kunnen lukken met een mix van geconcentreerd salpeterzuur (oxidator), waterstoffluoride (complexvorming) en geconcentreerd zoutzuur (complexvorming).

Dit is wel een ongelooflijk gevaarlijk reagens, waar zelfs glas met gemak in oplost en waarin jouw huid (en meer) ook met gemak in oplost. Dit is dus niet iets, waar ik zelf mee ga 'spelen', maar het is het enige wat ik nog kan bedenken. Alle combinaties HCl/HNO3/H2SO4, heet en koud heb ik al geprobeerd en geen van allen doet iets. HF heb ik niet en ik ben ook niet van plan daar mee te gaan 'spelen'.

Misschien zou je ook een sterke hete oplossing van NaClO + NaOH kunnen gebruiken. Met deze oplossing heb ik met succes rutheniummetaal kunnen oplossen. Iridium lost hier niet in op, maar een legering van Ir/Pt misschien wel. Ook dit is echter een kwestie van proberen. Ook hier moet je HEEL voorzichtig mee zijn. Kokende geconcentreerde NaOH/NaClO is ongelooflijk corrosief en doet niet veel onder voor een kokend hete HCl/HF/HNO3 coctail, het enige is dat hier geen giftige damp vanaf komt, terwijl dat andere zeer giftig HF afgeeft plus nog andere behoorlijk giftige stoffen als ONCl en Cl2.

Gewoon Googelen. Dat moet lukken.

Forget it... dit is echt een lastig probleem. Ik heb hier al heel wat zoektijd in zitten. Als het zo gemakkelijk is, kom dan maar met een goede link die aangeeft hoe je dit moet doen. Mag je gelijk ook aangeven hoe je niobium metaal kunt oplossen, ook zo'n lastige 8-[ .

Veranderd door woelen, 14 december 2005 - 21:55


#5

joepiedepoepie

    joepiedepoepie


  • >250 berichten
  • 311 berichten
  • Ervaren gebruiker

Geplaatst op 15 december 2005 - 11:38

Niobium: HF of KOH (84% wt.%)

Pt-Ir folie: helaas geen oplosmiddel gevonden. Een oplossing is plasma etching met CF4/O2. De etch rate is in de orde van Angstrom per minuut. Micrometers gaan dan wel erg lang duren.





0 gebruiker(s) lezen dit onderwerp

0 leden, 0 bezoekers, 0 anonieme gebruikers

Ook adverteren op onze website? Lees hier meer!

Gesponsorde vacatures

Vacatures