Inductief gekoppeld plasma
Moderator: ArcherBarry
Forumregels
(Middelbare) school-achtige vragen naar het forum "Huiswerk en Practica" a.u.b.
Zie eerst de Huiswerkbijsluiter
(Middelbare) school-achtige vragen naar het forum "Huiswerk en Practica" a.u.b.
Zie eerst de Huiswerkbijsluiter
-
- Berichten: 248
Inductief gekoppeld plasma
Bij het gebruik van een inductief gekoppeld plasma is er steeds een optimale rf-power waarbij men werkt. Zou iemand mij kunnen vertellen wat er gebeurd wanneer de rf power beduidend hoger/lager zou zijn?
Alvast bedankt!
Alvast bedankt!
-
- Berichten: 248
Re: Inductief gekoppeld plasma
Rf loopt door de koperen spoel welke energie levert om een plasma te vormen, ik veronderstel dus als de rf lager is, dat er geen efficiente ionisatie meer zal zijn?
Wat er echter gebeurt bij een hogere rf, geen idee...
Wat er echter gebeurt bij een hogere rf, geen idee...
- Berichten: 6.853
Re: Inductief gekoppeld plasma
De Rf maakt het plasma niet! Wat ik me ervan herinner is dat je eerst een "ontsteking" nodig hebt. Als er eenmaal geladen deeltjes zijn, dan trekt de Rf die heel snel heen en weer en houdt het plasma op die manier warm. Bij te weinig dooft het plasma (hercombinatie tot neutrale deeltjes) en bij teveel krijg je teveel beweging, druk, en expansie, en dan kun je je plasma niet precies meer controleren.