Ontwerp van een microwave plasma bron, ipv rf plasma bron

Moderator: physicalattraction

Reageer
Gebruikersavatar
Berichten: 9.240

Ontwerp van een microwave plasma bron, ipv rf plasma bron

Een RF plasma word vaak gemaakt door tussen twee parallele plaat elektroden een wisselspanning van 13.56 MHz (is een standaard) te zetten, vaak rond de 100 Watt.

Ik vraag me af hoe het ontwerp van een microwave plasma generator er uit ziet. Deze werken op een veel hogere frequentie van 2.45 GHz en ik meen dat daar veel meer bij komt kijken. Wat ik op het internet heb gevonden is dat het meer op een antenne lijkt met ergens een ground (maar ik weet niet zeker waar) ik vroeg me af of iemand verstand heeft van het ontwerp van microwave plasma bronnen, kamers. e.d.

Reageer