Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Bert F

Ik ben op zoek naar een voorbeeld proces methode om volgende lenzen (dus bvb 36a, 38a 40a)on chip te kunnen uitvoeren na één.

: lenzen_systeem.png (54.83 KiB) 475 keer bekeken

bron: http://www.freepatentsonline.com/6606180.html

Is dit mogelijk? Omdat ik meestal alleen lithografische methodes vindt waarbij er één lens wordt gemaakt dus niet een hoop lenzen op één. Moet je dan ook altijd bij het werken on chip al je lenzen samen brengen tot één en deze dan maken?

Groeten.

317070

Bert F schreef:Is dit mogelijk? Omdat ik meestal alleen lithografische methodes vindt waarbij er één lens wordt gemaakt dus niet een hoop lenzen op één. Moet je dan ook altijd bij het werken on chip al je lenzen samen brengen tot één en deze dan maken?

Groeten.

Horizontaal na een (dus op de plaat blijvend), of verticaal na een (lijkt me onmogelijk)? Hoeveel bedraagt de afstanden tussen de lenzen? Aangezien de meeste applicaties in IC met waveguides werken, hebben ze geen lenzen nodig.

Anders heb ik nog dit gevonden: http://www.richardgnall.com/Publications/A...guideLenses.pdf

Hoeveel ken je af van fotonica en PIC?

Bert F

De bedoeling is om in het kader van een cursus micro optics een artikel te maken waarin je een optisch systeem beschrijft.

Na lang zoeken heb ik bovenstaande systeem gevonden en ben hier mee begonnen dit te beschrijven. Nu is het bijkomend de bedoeling dat je uitlegt hoe men dergelijke zaken in het klein maakt, we hebben technieken gezien om microlenzen te maken.

*voorbereiden substraat

*maken maskers

*uitlijnen enz

Maar hier bij valt me op dat men telkens één refractief of diffractief of microspiegel maakt. Nooit meer tezamen daarom ook dat ik me begin af te vragen of je een aantal verschillende lenzen boven één kan maken.

Bijkomend is de fig bovenstaand een uitbeelding van het optisch systeem op macro schaal, in de paper ga ze wel verder na kleinere on chip schaal maar ze leggen niet uit hoe ze hun lenzen maken en of dit kan.

Hoeveel ken je af van fotonica en PIC?

waarschijnlijk nog niet zoveel maar het zou de bedoeling zijn dat met het schrijven van zo'n artikel ik hier wat over bij leer,

het grootte probleem blijft echter ik vindt geen goede referentie van dergerlijke fabricage methodes en methodes op ic voor fotonica in het algemeen.

Groeten.

Rude

kijk voor de grap eens op de website van LioniX

www.lionixbv.com

dit is een Nederlands bedrijf (Enschede) dat geintegreerde optica maakt. Hier staat wel aardig wat op hun website over de technieken die zij gebruiken, en als ik mij het goed herinner staat er ook wel welke stappen ze (ongeveer) gebruiken voor het maken van chips.

In het kort komt het hier op neer: wafer coaten met speciaal materiaal, belicht photoresist met structuur, etsen, coaten, belichten, etsen, enz., totdat je de gewenste structuur hebt.

Het maken van een lens on-chip is onlogisch, aangezien je voor de meeste toepassingen single-mode licht wilt gebruiken, dus je kunt alle bundelgroottes met tapering krijgen. Ik zou ook niet weten hoe ik een lens zou moeten ontwerpen on-chip. Je kan wel denken aan lenzen aan de zijkant van een chip voor inkoppeling of collimatie van licht van/naar de chip (waveguide). Ook voor sommige toepassingen zijn er soms kleine stukjes "free-space" structuren in de chip gemaakt, en dan kun je met bijvoorbeeld parabolische gratings een miniatuur spectrometer maken.

Bert F

bedankt voor de tip en de uitleg ga ik zeker eens bekijken.

Groeten.

Wetenschapsforum

Laatste berichten

Nieuwsberichten

Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Re: Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Re: Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Re: Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.

Re: Lithografische methode voor fabricage optische componenten on chip.