Laatste berichten
-
23:12
speciale rel. theorie 10
-
22:57
Straatklok loopt 5 minuten voor 11
-
22:57
wig 6
-
22:36
Gravity and gravitation 4
-
22:24
[scheikunde] vraag Chemie - wat is de oplossing? 10
-
19:47
Bruine vlekken op treinaanwijzerbord 10
-
19:44
Vogels in de stad zijn goede klussers 2
-
19:12
Rood laserlicht 3
-
17:30
Herleiden afmetingen vanaf een foto 21
-
16:34
[wiskunde] Prijs Product per KG; Alternatief Inzicht 3
-
13:57
do-re-mi-fa-so vliegtuigen 9
-
13:16
geen minkowski-ruimte toch? Doe ik dit nou fout? 17
-
13:12
[natuurkunde] kroon van koning op Syracuse 10
-
10:15
2013 – Augustus Vraag 3 3
-
24 apr
Vraag 2009 Juli Vraag 5 5
-
24 apr
positie 2
-
24 apr
Schroefdraad berekening 8
-
24 apr
[scheikunde] Kan chloorgas de geleiding van elektriciteit belemmeren? 9
-
23 apr
Weerfrustratie 9
-
23 apr
Kunnen quantum Zonnecellen 190% quantum efficiënt zijn 3
Nieuwsberichten
-
04 mar
Een nieuw soort magnetisme: altermagnetisme
-
31 okt
AI kan via stem diabetes vaststellen 11
-
21 okt
Einstein krijgt wéér gelijk 45
-
07 feb
witter dan wit 20
-
19 jun
irrigatie en de aardas
Silicium etsen
Moderator: ArcherBarry
-
- Berichten: 5
Silicium etsen
Weet iemand welke reactie er precies optreedt wanneer silicium wordt geëtst met KOH-oplossing? In de IC-fabricage wordt dit veel gebruikt, maar ik kan nergens vinden wat er nou precies gebeurt. Er zal geen SiO2 ontstaan, want dat zou een vaste laag vormen en niet oplossen. SiH4 is het ook niet want dan zouden er bellen met een gevaarlijk gas ontstaan. Maar wat gebeurt er dan wel? Ontstaat er soms Si(OH)4 (tetrasilanol)?
...verhit de dichloormono-oxide tot 277 graden Celcius en geniet van het effect...
-
- Berichten: 1.379
Re: Silicium etsen
SiO2 lost wel op in een geconcentreerde KOH oplossing.
Vergelijking van het etsproces: Si + O2 + 2 KOH ----)- K2SiO3 + H2O
Ik denk wel dat de etssnelheid erg afhankelijk is van de thermische voorgeschiedenis van het materiaal.
Vergelijking van het etsproces: Si + O2 + 2 KOH ----)- K2SiO3 + H2O
Ik denk wel dat de etssnelheid erg afhankelijk is van de thermische voorgeschiedenis van het materiaal.
Uitleggen is beter dan verwijzen naar een website
-
- Berichten: 11.177
Re: Silicium etsen
Misschien leuk om te weten dat loog ook op deze manier glas aantast, wat in feite ook siliciumdioxide is.hzeil schreef: SiO2 lost wel op in een geconcentreerde KOH oplossing.
Vergelijking van het etsproces: Si + O2 + 2 KOH ----)- K2SiO3 + H2O
Ik denk wel dat de etssnelheid erg afhankelijk is van de thermische voorgeschiedenis van het materiaal.
-
- Moderator
- Berichten: 5.238
Re: Silicium etsen
grappig,
En dus waarscheinlijk ook een flink aantal (Edel)stenen
En dus waarscheinlijk ook een flink aantal (Edel)stenen
Niet geschoten is altijd mis, en te snel schieten vaak ook.
Ik ben intelligent want ik weet dat ik niks weet. Socrates
Ik ben intelligent want ik weet dat ik niks weet. Socrates
-
- Berichten: 3.145
Re: Silicium etsen
Er is geen zuurstof nodig voor het etsproces. Ik heb een keer een proefje gedaan door Si-poeder toe te voegen aan een oplossing van NaOH en dan verwarmen. Het Si lost (langzaam) op onder vorming van waterstof en er gaat silicaat in oplossing.
-
- Berichten: 1.379
Re: Silicium etsen
Ja, Woelen heeft gelijk. Zonder zuurstof kan het ook wel. Zeker als het onzuiver silicium is dat nog wat katalyserende elementen bevat.
De moeilijke stap is echter die van geadsorbeerde atomaire waterstof naar moleculaire waterstof. Deze stap kan het etsproces behoorlijk afremmen. Een oxydator die reageert met Hads kan daarbij goed helpen.
Een mooi voorbeeld is de reaktie van (pro analyse) zwavelzuur met een stukje (pro analyse) zink. Die verloopt bijna niet vanwege de blokkade door atomaire waterstof. Maar de reaktie met onzuiver zink en/of onzuiver zuur verloopt heel vlot!
De moeilijke stap is echter die van geadsorbeerde atomaire waterstof naar moleculaire waterstof. Deze stap kan het etsproces behoorlijk afremmen. Een oxydator die reageert met Hads kan daarbij goed helpen.
Een mooi voorbeeld is de reaktie van (pro analyse) zwavelzuur met een stukje (pro analyse) zink. Die verloopt bijna niet vanwege de blokkade door atomaire waterstof. Maar de reaktie met onzuiver zink en/of onzuiver zuur verloopt heel vlot!
Uitleggen is beter dan verwijzen naar een website
-
- Berichten: 5
Re: Silicium etsen
OK, bedankt voor de reacties. Ik ga me er de komende week wat meer in verdiepen, maar ik weet wel dat men zuiver silicium etst (>99.999999% zuiver, monokristallijn silicium) zonder er zuurstof bij te voegen. Welke reactie er dan precies optreedt staat alleen nergens bij, dus vandaar dat ik het me afvroeg...
...verhit de dichloormono-oxide tot 277 graden Celcius en geniet van het effect...
