Het geheim van ASML

Moderator: physicalattraction

Reageer
Gebruikersavatar
Berichten: 1.317

Het geheim van ASML

Waarom is het eigenlijk zo moeilijk om EUV licht te maken in de context van lithografie?

Is dat omdat het vermogen heel hoog moet zijn of omdat er weinig spreiding mag zijn op de golflengte of nog een andere reden?

Gebruikersavatar
Moderator
Berichten: 8.140

Re: Het geheim van ASML

Het heeft weinig zin om over te schrijven wat ik zonet op Wikipedia heb geleerd.

Een masker dat uit vele lagen moet bestaan, "licht" dat door ieder materiaal geabsorbeerd wordt zodat spiegels in vacuum nodig zijn. Spiegels die desondanks ook nog een fors deel absorberen waardoor de bron nog eens extra helder moet zijn.
Spiegels die natuurlijk veel nauwkeuriger moeten zijn wegens de veel kortere golflengte...

Gebruikersavatar
Berichten: 1.317

Re: Het geheim van ASML

Op minuut 30 van de recente docu suggereert de SVP Technologie dat het al moeilijk is om gewoon de lichtbron aan te maken. Elders in de docu zegt CEO Wennink (weet niet meer welke minuut) ook iets gelijkaardigs. Ze konden pas een machine verkopen als de bron een bepaald vermogen kon leveren. Dat die hele machine extreem complex is, kan ik wel geloven, maar ik vind het raar dat het aanmaken van het licht zo moeilijk is.

https://www.npostart.nl/vpro-tegenlicht ... ON_1335235

Gebruikersavatar
Moderator
Berichten: 8.140

Re: Het geheim van ASML

Je wil het licht op een heel klein oppervlak focusseren, je zult dus een zeer heldere (wegens de verliezen) "puntbron" moeten hebben. Héél veel licht vanaf een héél klein oppervlak.
Daar is volgens mij een term voor maar die kan ik zo snel niet vinden.

Gebruikersavatar
Berichten: 1.485

Re: Het geheim van ASML

Deze docu/presentatie zonder sensatie muziek vind ik nog steeds goed betreffende geschiedenis en ontwikkeling EUV. https://youtu.be/5Ge2RcvDlgw

Gebruikersavatar
Moderator
Berichten: 8.140

Re: Het geheim van ASML

Xilvo schreef: di 20 sep 2022, 20:05 Daar is volgens mij een term voor maar die kan ik zo snel niet vinden.
In het Engels, "radiance" Wkipedia W.sr -1.m -2

Gebruikersavatar
Moderator
Berichten: 8.140

Re: Het geheim van ASML

OOOVincentOOO schreef: di 20 sep 2022, 21:13 Deze docu/presentatie zonder sensatie muziek vind ik nog steeds goed betreffende geschiedenis en ontwikkeling EUV. https://youtu.be/5Ge2RcvDlgw
Verhelderende video!

Gebruikersavatar
Berichten: 1.317

Re: Het geheim van ASML

Dat is inderdaad ook een goede film. Ik had die vroeger al gezien.

Blijkbaar is tegen mijn verwachting in het maken van een laser met lage golflengten niet evident.

https://www.quora.com/What-is-the-short ... hat-exists

Ze hebben bij ASML een CO2 infrarood laser van 20kW waarmee ze tin druppels beschieten. Die tin druppels vormen een plasma en zenden EUV fotonen uit. Die worden door een spiegel van Zeiss gereflecteerd en komen in een collector terecht van waar het verder gaat naar de scanner. De laserstraal die eruit komt heeft een vermogen van een 100 W tot 250W.

Hier een iets meer gedetailleerde uitleg.


Gebruikersavatar
Moderator
Berichten: 8.140

Re: Het geheim van ASML

wnvl1 schreef: di 20 sep 2022, 22:14 Blijkbaar is tegen mijn verwachting in het maken van een laser met lage golflengten niet evident.
Dan zou je hier atomen in een aangeslagen toestand met energie van 91,4 eV moeten brengen, tenzij je een heel andere methode gebruikt.

Gebruikersavatar
Berichten: 1.485

Re: Het geheim van ASML

Naar mijn weten kan men bij UV optiek louter met spiegels werken lenzen niet. Dit heb ik altijd contra intuïtief gevonden, en dien dit nog na te lezen in mijn Hecht optiek boek hier op de vensterbank. UV absorbeert makkelijker dan IR. Misschien kan iemand dat uitleggen (terwijl X-ray juist minder?). Moeilijke materie.

Uit de praktijk weet ik dat:
  • Quartz glass wel redelijk goed UV doorlaat. Maar voor deze EUV is dat ook geen oplossing vermoed ik.
  • Men dient op te letten in O2 rijke omgeving, ellipsometer in UV bereik spoelden wij met N2 op oude werk. De gecreëerde ozon door UV tast glas en wellicht ander optiek/materialen aan. De precieze chemie weet ik echter niet. En zou ik moeten nagaan, schijnbaar gebruikt met ionisatie door bewust ingelaten H2 gas in vacuum omgeving om juist schoon te etsen volgens het filmpje?

Reageer